| 微细电火花加工装置的设计与应用 |
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| 引用本文： | 张勇,王振龙,胡富强,赵万生. 微细电火花加工装置的设计与应用[J]. 微细加工技术, 2004, 0(2): 55-59,65 |
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| 作者姓名： | 张勇 王振龙 胡富强 赵万生 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学,机电学院,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 设计开发了一台用于微细电火花加工的微细加工装置，它主要由以下几个部分组成：花岗岩基座、精密伺服机构、精密高速旋转主轴、线电极磨削装置、微细电火花加工用的RC脉冲电源、加工状态检测系统和控制系统。在该装置上可以进行微细轴、微细孔和微三维结构的加工。具有4轴3联动功能，控制方便，容易实现数控插补功能。加工实验表明，在该装置上能稳定地加工出最小直径为Ф12μm的微细轴以及Ф25μm的微细孔，其长径比可分别达到25和10以上。并对半导体硅材料进行了加工实验，加工出的硅微梁深宽比达15以上。此外还给出了所加工的微三维结构实例。
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| 关 键 词： | 微细电火花加工 装置 微细轴 微细梁 微三维结构 |
| 文章编号： | 1003-8213(2004)02-0055-05 |
Design of a Micro EDM Equipment and Its Application |
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| ZHANG Yong,WANG Zhen-long,HU Fu-qiang,ZHAO Wan-sheng. Design of a Micro EDM Equipment and Its Application[J]. Microfabrication Technology, 2004, 0(2): 55-59,65 |
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| Authors: | ZHANG Yong WANG Zhen-long HU Fu-qiang ZHAO Wan-sheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro EDM machining equipment micro shaft micro beam micro structure |
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