三向压电晶体力传感器的研究

三向压电力传感器是三向动态测力系统最基本的传感元件,它可以对空间任一个或多个力同时进行测量,分解并合成到三个座标轴上输出。若用几个三向力传感器按不同情况组成测力系统,可以对更复杂的力系进行综合动态测量。本文简要介绍了三向压电力传感器的原理及其结构形式,在此基础上设计了三向压电力传感器,并从刚度的观点指出了传感器设计的关键。在传感器制造过程中,对其制造工艺进行了探索。实践证明:所采用的工艺路线是合理的,所研制的三向压电力传感器的性能指标达到国际同类产品的水平。