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| 650nm反射10.6μm透射的薄膜干涉滤光片 | |
| 作者姓名： | 邢政 付秀华 傅晶晶 庞薇 |
| 作者单位： | 长春理工大学,吉林长春,130022 |
| 摘 要： | 针对波长为650nm和10.6μm的激光器,选用了ZnS和YbF<,3作为膜料,采用离子辅助沉积技术,在多光谱ZnS基底上制备了650nm反射10.6μm透射的薄膜干涉滤光片.通过对膜系设计和优化工艺参数的研究,解决了膜层牢固性,改善了薄膜的激光损伤阈值,并给出了综合测试结果和实测光谱曲线. |
| 关 键 词： | 光学薄膜 硫化锌 离子辅助 激光损伤阈值 |
| 文章编号： | 1001-5078(2008)05-0482-03 |
| 修稿时间： | 2007-11-01 |
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