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| 科学家用DNA作为纳米印刷模板 | |
| 摘 要： | 美国Brigham Young大学的科学家们把DNA自组织技术同微制造印刷术结合起来，制造出纳米通道、纳米线和纳米沟等结构．这项发现为目前光学印刷术所达不到的尺寸下的纳米加工开辟了新的路径．研究人员发明了一种利用DNA为模板来定义基底图案的方法．他们把DNA在基底上排列整齐，再在上面沉积一层金属膜．DNA分子起纳米蜡纸的作用，这样来在基底上定义一些小于10纳米的图案．此后研究人员使用半导体工业中常用的活性气体等离子体对图案表面进行各向异性刻蚀，在基底上得到了高纵宽比的沟槽．沟槽的确切尺寸可以通过改变沉积角度和沉积厚度来控制． |
| 关 键 词： | DNA分子 纳米通道 印刷模板 科学家 家用 各向异性刻蚀 气体等离子体 沉积厚度 |
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