| 几何光探针在表面形貌测量中的应用 |
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| 引用本文： | 杨春兰,浦昭邦,赵辉. 几何光探针在表面形貌测量中的应用[J]. 激光杂志, 2000, 21(6): 1-4 |
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| 作者姓名： | 杨春兰 浦昭邦 赵辉 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学305信箱,哈尔滨 |
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| 摘 要： | 本文全面地总结了应用于表面形貌测量中的各种几何光探针方法，概述了这些方法的原理、特性及发展现状，并对各种方法的优越性及存在问题进行了比较。
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| 关 键 词： | 几何光探针 离焦误差检测 表面形貌测量 |
Applications of geometrical optical stylus technologies in surfa ce topography measurement |
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| Yang Chunlan,Pu Zhaobang,Zhao Hui. Applications of geometrical optical stylus technologies in surfa ce topography measurement[J]. Laser Journal, 2000, 21(6): 1-4 |
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| Authors: | Yang Chunlan Pu Zhaobang Zhao Hui |
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| Abstract: | This paper describes geometrical optical stylus technologies applied in surface topography measurement in detail.The principle,property and present situation of these methods are analyzed.The superiority and existing problems of these methods are also compared. |
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| Keywords: | geometrical optical stylus defocusing error detection confocal microscope surface topographt |
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