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| 微系统与纳系统技术（下） | |
| 引用本文： | 周兆英,冯焱颖,袁松梅.微系统与纳系统技术（下）[J].世界电子元器件,2001(10):26-28. |
| 作者姓名： | 周兆英 冯焱颖 袁松梅 |
| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系 |
| 摘 要： | 三 纳系统技术 纳系统,或称NEMS,其关键特征尺度在几百到几纳米,它包括纳结构、纳器件和纳系统以及纳米尺度的测控和制造技术等,是纳米技术发展的最终目标之一。与微系统不同,纳系统是以小尺度为特征的,也就是说,纳器件和系统的性质和行为可能是由小尺度所 |
| 关 键 词： | 微系统 纳系统 机械电子系统 |
Micro System & Nano System |
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