| 气体流量对反应磁控溅射氧化铝/PET薄膜阻隔性能的影响 |
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| 引用本文： | 孙智慧,智慧,刘壮,林晶.气体流量对反应磁控溅射氧化铝/PET薄膜阻隔性能的影响[J].包装工程,2009(12). |
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| 作者姓名： | 孙智慧 智慧 刘壮 林晶 |
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| 作者单位： | 哈尔滨商业大学; |
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| 基金项目： | “十一五”国家科技支撑计划重大项目(2006BAD05A05); 黑龙江省教育厅科学技术研究项目(11541079) |
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| 摘 要： | 采用直流电源磁控溅射的方法在20μmPET表面沉积氧化铝薄膜,用红外光谱对薄膜成份进行了分析,用MOCON薄膜阻隔性能测试设备对薄膜的透氧率、透湿率进行了测试。结果表明:薄膜上Al-O的峰值强度变化与O2和Ar气流量有关,当O2和Ar气流量分别为9和105mL/min时:Al-O波峰强度最大;制备高阻隔氧化铝薄膜的透明度最佳;所得氧化铝薄膜透氧率比原膜降低15倍,透湿率降低5倍。
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| 关 键 词： | 氧化铝薄膜 磁控溅射 FTIR 透湿率 透氧率 |
Effect of Gas Flow Rate on the Barrier Properties of Alumina Deposited PET Films by Reactive Magnetron Sputtering |
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| SUN Zhi-hui,ZHI Hui,LIU Zhuang,LIN Jing.Effect of Gas Flow Rate on the Barrier Properties of Alumina Deposited PET Films by Reactive Magnetron Sputtering[J].Packaging Engineering,2009(12). |
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| Authors: | SUN Zhi-hui ZHI Hui LIU Zhuang LIN Jing |
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| Affiliation: | SUN Zhi-hui,ZHI Hui,LIU Zhuang,LIN Jing (College of Light Industry Harbin University of Commerce,Harbin 150028,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | alumina thin film magnetron sputtering FTIR WVTR OTR |
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