| 使用传统工艺实现1.55μm激光器与模斑转换器的单片集成 |
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| 引用本文： | 侯廉平,王圩,朱洪亮.使用传统工艺实现1.55μm激光器与模斑转换器的单片集成[J].半导体学报,2005,26(3). |
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| 作者姓名： | 侯廉平 王圩 朱洪亮 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 采用传统的光刻和湿法腐蚀工艺制作了1.55μm波长的新型半导体激光器和模斑转换器的单片集成器件.其中激光器采用脊型双波导,模斑转换器采用掩埋双波导结构,水平楔型的有源波导和宽而薄的无源波导同时控制光斑模式大小.实验测得器件的阈值电流为40mA,斜率效率为0.35W/A,水平和垂直方向的远场发散角分别为14.89°和18.18°,与单模光纤的耦合损耗为3dB.
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| 关 键 词： | 激光器 模斑转换器 光电子集成 光耦合 laser diode spot-size converters integrated optoelectronics optical coupling 使用 传统工艺 激光器 模斑转换器 单片集成 Process Conventional Converter Monolithically Integrated losses optical fiber beam divergence angles horizontal vertical small threshold current high efficiency |
1.55μm Laser Diode Monolithically Integrated with Spot-Size Converter Using Conventional Process |
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| Hou Lianping,Wang Wei,Zhu Hongliang.1.55μm Laser Diode Monolithically Integrated with Spot-Size Converter Using Conventional Process[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(3). |
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| Authors: | Hou Lianping Wang Wei Zhu Hongliang |
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| Keywords: | |
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