| 精密工作台光栅定位测量与控制系统的设计 |
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| 引用本文： | 孙亮.精密工作台光栅定位测量与控制系统的设计[J].电子测试,2007(1):47-48. |
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| 作者姓名： | 孙亮 |
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| 作者单位： | 中国计量学院,杭州,310018 |
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| 摘 要： | 定位测量与控制系统是精密仪器中的一个重要组成部分,特别是对高精度的仪器尤为重要.精密工作台光栅定位测量与控制系统是一种包括激光干涉仪、光栅、线纹尺、感应同步器、磁栅及码盘等多个元器件组成的精确的定位测量与控制系统系统.
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| 关 键 词： | 光栅位移检测系统 闭环伺服控制 测量控制 光纤光栅传感器 |
Precision Workstations Grating Position Measurement and Control System Design |
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| Sun Liang.Precision Workstations Grating Position Measurement and Control System Design[J].Electronic Test,2007(1):47-48. |
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| Authors: | Sun Liang |
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