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| 与真空有关的科学仪器的碳氢化合物污染 | |
| 引用本文： | U.R.Bance ,I.W.Drummond ,D. Finbow ,E.H.Harden ,P.Kenway ,梅占先.与真空有关的科学仪器的碳氢化合物污染[J].真空,1980(3). |
| 作者姓名： | U.R.Bance I.W.Drummond D. Finbow E.H.Harden P.Kenway 梅占先 |
| 摘 要： | 碳氢化合物污染影响到大多数与真空有关的科学仪器的性能。在电子显微镜里,由于样品受到返流泵液和系统的其他碳氢化合物的聚合作用而污染,使得分辨能力很差。在表面分析设备(例如XPS, AES和 UPS)中,碳氢化合物污染会干扰分析工作。在质谱计里,它能有害地影响分辨能力,使结果的整理工作复杂了。通常要使用几种泵的组合来获得科学仪器所需要的真空。抽气系统一般使用下列一个或几个泵:机械泵、扩散泵、涡轮分子泵、离子泵、升华泵及低温泵。污染的主要来源就是这些泵及设备所用的构造材料以及这些材料的加工工艺。在超净系统里,样品本身… |
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