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| 超精密平面度在线检测方法研究 | |
| 作者姓名： | 王雪妮 施展 |
| 作者单位： | 上海理工大学,200093 |
| 基金项目： | 上海市科学技术委员会资助项目（编号：071111002） |
| 摘 要： | 磨削问题过实验，效性。介绍了一种用最小二乘逐次两点法对超精密平面度进行在线检测与误差分离的方法；针对平面光学玻璃设计了一套在线测量系统，所提出的方法可以精确而快速地分离出被测平面移动的导轨运动误差，通验证了该测量方法能在机床上直接测量工件的平面度误差，消除基准误差，从而保证实现在线测量的有 |
| 关 键 词： | 平面度误差 在线检测 误差分离 |
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