| 气膜结构对长光栅刻制气浮平台气膜特性的影响 |
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| 引用本文： | 莫德云,马 平,弓满锋.气膜结构对长光栅刻制气浮平台气膜特性的影响[J].润滑与密封,2016,41(3):101-106. |
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| 作者姓名： | 莫德云 马 平 弓满锋 |
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| 作者单位： | 岭南师范学院机电工程研究所,岭南师范学院机电工程研究所,岭南师范学院机电工程研究所 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（50775043）；广东省自然科学基金项目(S2013010013385)；岭南师范学院校级青年基金项目(QL1403) |
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| 摘 要： | 为满足长光栅刻制气浮平台的设计要求,通过建立气浮导轨上气膜面的有限元模型,以承载能力、耗气量及流场"死区"速度作为性能指标,分析不同的节流器和均压槽形式对气浮导轨气膜特性的影响。结果表明:不同的导轨结构会造成压力场特性发生变化,进而影响气膜承载力、死区速度及耗气量;3×3节流器王字型均压槽的结构形式能有效提高承载能力,消除速度死区,且耗气量未明显增加,该结构能满足长光栅刻制对气浮平台长时间工作的要求。
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| 关 键 词： | 气浮平台 承载力 速度死区 耗气量 |
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