| 微波辅助Al2O3陶瓷表面铜金属化研究 |
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| 引用本文： | 贾启辉,吴蔚,汪彩芬,翟宇佳,韩超,刘家臣.微波辅助Al2O3陶瓷表面铜金属化研究[J].真空电子技术,2009(4):72-74. |
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| 作者姓名： | 贾启辉 吴蔚 汪彩芬 翟宇佳 韩超 刘家臣 |
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| 作者单位： | 天津大学材料学院,天津,300072 |
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| 基金项目： | 天津市应用基础及前沿技术研究计划 |
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| 摘 要： | 选取95Al2O3陶瓷体作为金属化基体，采用Cu粉在微波作用下进行金属化实验，研究了微波功率、处理时间、保护措施和金属化配方对微波金属化质量的影响。对金属化成分和表面结构进行了分析。结果表明，在氧化气氛中，微波3kW／10min处理，炭粉埋烧保护和金属化配方添加5％SiC和5％（质量比）C粉的条件下，在95Al2O3陶瓷表面可获得较好的Cu金属化效果。
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| 关 键 词： | 微波 金属化 铜 氧化铝 |
Microwave-Assisted Alumina Ceramic Metallization |
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| JIA Qi-hui,WU Wei,WANG Cai-fen,ZHAI Yu-jia,HAN Chao,LIU Jia-chen.Microwave-Assisted Alumina Ceramic Metallization[J].Vacuum Electronics,2009(4):72-74. |
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| Authors: | JIA Qi-hui WU Wei WANG Cai-fen ZHAI Yu-jia HAN Chao LIU Jia-chen |
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| Affiliation: | (Key Laboratory of Advanced Ceramics and Machining Technology of Ministry of Education, Tianjin 300072, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Metallization Microwave Copper Al2O3 |
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