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基于MEMS的微电容式无线加速度传感器的研究
引用本文:王少华,李宏伟,欧进萍. 基于MEMS的微电容式无线加速度传感器的研究[J]. 传感器与微系统, 2007, 26(6): 94-96
作者姓名:王少华  李宏伟  欧进萍
作者单位:1. 哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150090
2. 哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150090;大连理工大学,辽宁,大连,116024
基金项目:国家自然科学基金 , 中国博士后科学基金
摘    要:介绍了一种基于MEMS技术制作的微电容式无线加速度传感器的设计与实现。研究了无线加速度传感器的整体设计方案,给出了硬件电路设计和软件设计过程,并实现了原型产品的调试与制作。为验证原型产品的有效性,将其安装在实际桥梁上进行振动测试,给出了数据分析计算结果。

关 键 词:无线加速度传感器  振动测试  桥梁监测  斜拉桥
文章编号:1000-9787(2007)06-0094-03
修稿时间:2007-04-21

Research on micro capacitive wireless accelerometer based on MEMS
WANG Shao-hua,LI Hong-wei,OU Jin-ping. Research on micro capacitive wireless accelerometer based on MEMS[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2007, 26(6): 94-96
Authors:WANG Shao-hua  LI Hong-wei  OU Jin-ping
Affiliation:1. Harbin Institute of Technology, Harbin 150090, China; 2. Dalian University of Technology ,Dalian 116024 ,China
Abstract:The design and implementation of a micro capacitive wireless accelerometer based on MEMES is presented.The framework of the wireless accelerometer is studied,and the design of the hardware and software is described.A prototype of the proposed wireless accelerometer is set up and fabricated.To test the validity of the prototype product,it is installed on a cable-stayed bridge to measure the vibration of the bridge.The results of the analyzed data are then presented.
Keywords:wireless accelerometer   vibration measurement   bridge monitoring   cable-stayed bridge
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