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日本研究一系列超大规模集成电路用的生产技术
引用本文:肖洪.日本研究一系列超大规模集成电路用的生产技术[J].微纳电子技术,1980(4).
作者姓名:肖洪
摘    要:<正> 日本超大规模集成电路技术研究组合共同研究所最近研究了可能实现亚微米图形的高速电子束扫描装置与电子束掩模制造装置,并研究了在实现1兆位存贮器中能发挥作用的新结构“SHC RAM”(迭式高电容随机存取存贮器),其中关于“SNC RAM”在2月份召开的美国国际固体电路会议上已发表。上述的电子束扫描装置是在该所1978年研制的光栅扫描方式基础上改进而成的,采用绕过没有图形的部分进行扫描的可变成形束方式,这样扫描速度就大大提高了。用过去的方式扫描100毫米见方的片子和掩模需要180分钟,而用该方式12分钟就可完成,而且由于电子束系统采用可变束方式,能进行最小线宽0.5微米(束斑0.125微米)的描画,

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