|
|||||
|
|
| 反拍样片投影光刻法 | |
| 引用本文： | 杨良栋.反拍样片投影光刻法[J].微特电机,1980(1). |
| 作者姓名： | 杨良栋 |
| 作者单位： | 广州机床研究所 |
| 摘 要： | 我所研制的感应同步器有三种类型:标准型直线形(长度在250毫米时精度为±2.5微米)和为四坐标数控机床用摆角为42°的扇形,以及外径为φ302的720极和1080极圆形。其中720极的经国家计量院鉴定,零位精度为±0.31角秒。目前直线感应同步器已大批量生产,带有耦合变压器的圆感应同步器,正在小批量生产。用照相腐蚀工艺制造高精度感应同步器时,所须的高精度母版,用反拍样片的投影光刻法制造,本文概要介绍这一方法。一、反拍样片的投影光刻方法众所周知,过去通常用刀刻法制母版,最近才出现光刻法。光刻法又有接触和投影(非接触)法二种,投影光刻法又有刀刻和反拍 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |