以微电子及微机械加工技术为基础的多功能集成硅传感器的研制与开发——第五届国际固态传感器和执行器会议综述

一、概 述 一九八九年六月廿六日至卅日,在瑞士蒙特洛举行了第五届国际固态传感器与执行器会议(简称Transducers＇89)。由于国际上固态传感器和执行器领域研究开发进展极快,使得这个两年一度的会议规模越来越大。会议轮流在美国、欧洲及亚洲举行。第一次会议1981年在美国波士顿举行,100人参加;第二次83年在荷兰特尔夫特,350人;第三次85年在美国费城,550人;第四次在日本东京,630人。这次参加人数达到817人。有35个国家参加。已经有人提议每年召开会议或分解成专题会议以缩小会议规模到合理水平。 这次会议共收到论文560篇,录用343篇,录取率为61％;邀请报告19篇。我国有22篇论文被录用;有十多位由国内专程前往参加,还有十多位代表留学或进修所在国及单位参加会议,比上届会议有成倍的增加。同时,反映我国固态传感器研究水平的国际学术刊物“传感器与执行器”中国专集已经完成。已于八月一日出版。