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| 面向MEMS的微细加工技术 | |
| 引用本文： | 罗均,谢少荣,龚振邦.面向MEMS的微细加工技术[J].电加工与模具,2001(5):1-6. |
| 作者姓名： | 罗均 谢少荣 龚振邦 |
| 作者单位： | 上海大学 |
| 摘 要： | MEMS技术将是21世纪科技与产业的制高点之一，而微细加工技术又是MEMS发展的重要基础。微细加工技术在传统光刻工艺的基础上，又发展了灰调光刻、Lift-Off、LIGA及准LIGA、激光和分子装配等适应三维结构的新技术，本文综述了目前国内外各种微细加工及其关键技术的研究状况，并介绍了微细加工技术和MEMS的发展趋势。 |
| 关 键 词： | 微机械 MEMS 微细加工技术 微电子机械系统 |
| 修稿时间： | 2001年5月3日 |
Micro-fabrication technologies for micro-electro-mechanical system |
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| Abstract: | |
| Keywords: | MEMS |
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