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容栅位移传感器的高精度测量原理

作者姓名：	申义俭于晓洋

作者单位：	哈尔滨市科学器材公司，哈尔滨科学技术大学

摘要：	本分析了两种容栅位移传感器的高精度测量原理并指出其特点。
关键词：	位移传感器容栅测量系统
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