无导轨绝对距离测量技术的研究

本文概述了基于小数重合法的无导轨绝对距离测量技术并报导作者研制的多波长无导轨绝对距离测量系统。通过谐振腔腔长的调谐，形成二级合成波长值分别为１ｍ、１１．１ｍｍ，测量精度可达５μｍ±１×１０（－１）×Ｌ（Ｌ为被测长度）。