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| 小孔内径测量的传感器精度分析 | |
| 作者姓名： | 马玉真 于永新 孙选 郑义中 |
| 作者单位： | 济南大学机械工程学院;天津大学计算机学院;天津大学精密仪器与光电子工程学院; |
| 基金项目： | 山东省教育厅项目(J12LB04);山东省高等学校一般国内访问学者项目;山东省研究生教育创新计划项目(SDYY12);济南大学百门课程建设项目 |
| 摘 要： | 针对小孔的结构特点,介绍了电容传感器探针测量小孔孔径的原理;分析了测量时电容传感器由于参数的线性化、电容探针与小孔的中心线偏心带来的测量误差;并针对以上因素影响,采取了自动对中机构实现测量过程中的最小化偏心,通过标定得到了孔径值与测量值之间的对应关系。实验结果表明,系统的重复性精度可达到0.186μm,稳定性能达到6 h内漂移不超过0.375μm,该指标完全可以满足实际测量要求。 |
| 关 键 词： | 小孔孔径 测量 传感器探针 精度 |
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