| 生长条件对脉冲激光沉积ZnO薄膜性质的影响 |
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| 引用本文： | 苏清磊,董伟伟,陶汝华,邓赞红,方晓东. 生长条件对脉冲激光沉积ZnO薄膜性质的影响[J]. 有色金属, 2007, 59(3): 17-20 |
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| 作者姓名： | 苏清磊 董伟伟 陶汝华 邓赞红 方晓东 |
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| 作者单位： | 中国科学院安徽光学精密机械研究所,合肥,230031 |
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| 基金项目： | 中国科学院"百人计划" |
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| 摘 要： | 采用脉冲激光沉积法在蓝宝石（001）衬底上沉积ZnO薄膜,研究衬底温度、激光能量和氧气压力对样品结构和表面形貌以及光致发光的影响.X射线衍射（XRD）表明,在沉积温度范围内（600～900℃）所有样品都具有c轴高度择优取向.扫描电镜（SEM）的测试结果表明,激光能量和氧气压力对薄膜表面形貌的影响显著.在所有样品的室温光致发光谱（PL）均观察到单一 的380nm紫外光发射,深能级发射被强烈抑制.
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| 关 键 词： | 材料合成与加工工艺 ZnO薄膜 脉冲激光沉积 表面形貌 光致发光 |
| 文章编号： | 1001-0211（2007）03-0017-04 |
| 收稿时间： | 2005-11-29 |
| 修稿时间： | 2005-11-29 |
Effect of Growth Conditions on Properties of ZnO Thin Films Prepared by Pulsed Laser Deposition |
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| SU Qing-lei,DONG Wei-wei,TAO Ru-hua,DENG Zan-hong,FANG Xiao-dong. Effect of Growth Conditions on Properties of ZnO Thin Films Prepared by Pulsed Laser Deposition[J]. Nonferrous Metals, 2007, 59(3): 17-20 |
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| Authors: | SU Qing-lei DONG Wei-wei TAO Ru-hua DENG Zan-hong FANG Xiao-dong |
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| Affiliation: | Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Science, Hefei 230031, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | material synthesis and working technology ZnO thin film pulsed laser deposition surface morphology photoluminescenee |
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