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| 采用CMOS N势阱层的低成本红外微测辐射热计焦平面列阵 | |
| 引用本文： | 高国龙.采用CMOS N势阱层的低成本红外微测辐射热计焦平面列阵[J].红外,2002(5):27-31. |
| 作者姓名： | 高国龙 |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | 1引言 非致冷红外探测器由于与光子探测器相比具有成本低、重量轻、功率小、光谱响应宽和工作寿命长的优点,最近已受到了红外成像应用界的广泛关注.为了实现低成本的红外探测器列阵,人们一般都倾向于以单片方式使这些探测器同CMOS读出电子部件形成一体,而这些探测器与读出电子部件的合并通常是用后CMOS表面或块体微切削加工技术来完成的. |
| 关 键 词： | CMOS N势阱层 非制冷红外探测器 微测辐射热计 红外焦平面列阵 半导体 |
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