| 采用MOD工艺制备PZT压电薄膜及其性能的研究 |
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| 引用本文： | 张之圣,王玉东,刘如净. 采用MOD工艺制备PZT压电薄膜及其性能的研究[J]. 仪表技术与传感器, 2000, 0(7): 12-14 |
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| 作者姓名： | 张之圣 王玉东 刘如净 |
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| 作者单位： | 天津大学电于信息工程学院,天津市,300072 |
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| 摘 要： | 文中比较详细地研究了采用金属有机化合物热分解（ＭＯＤ）法制备锆钛酸铅Ｐｂ（Ｚｒ０．５２Ｔｉ０．４８）Ｏ３铁电薄膜的工艺及ＰＺＴ薄膜的介电性能。利用ＸＲＤ分析了薄膜的结晶过程，制得具有钙钛矿结构的ＰＺＴ薄膜铁电极有利于钙钛矿相形成，薄膜的介电温谱研究结果表明：薄膜有居里温度约为４３０℃（１ｋＨｚ）。
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| 关 键 词： | 金属有机化合物 锆钛酸铅 铁电薄膜 MOD工艺 |
| 修稿时间： | 1999-12-16 |
Research on the PZT Piezxo-electric Thin Film Using the MOD Processing and Its Property |
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| Zhang Zhisheng,Wang Yudong,Liu Rujing. Research on the PZT Piezxo-electric Thin Film Using the MOD Processing and Its Property[J]. Instrument Technique and Sensor, 2000, 0(7): 12-14 |
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| Authors: | Zhang Zhisheng Wang Yudong Liu Rujing |
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| Affiliation: | Zhang Zhisheng ,Wang Yudong ,LinRujing (School of Electronic Infomarmation Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Metallo Organics Pb(Zr 0 52 Ti 0 48 )O 3 Ferroelectric Film |
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