| 微机械可调谐滤波器的研制 |
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| 引用本文： | 张瑞康,杨晓红,周震,徐应强,张玮,杜云,黄永清,任晓敏,牛智川,吴荣汉. 微机械可调谐滤波器的研制[J]. 半导体学报, 2003, 24(4): 347-350 |
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| 作者姓名： | 张瑞康 杨晓红 周震 徐应强 张玮 杜云 黄永清 任晓敏 牛智川 吴荣汉 |
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| 作者单位： | 北京邮电大学 北京100876(张瑞康，周震，黄永清，任晓敏)，中国科学院半导体研究所 北京100083(杨晓红，徐应强，张玮，杜云，牛智川)，中国科学院半导体研究所 北京100083(吴荣汉) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 (批准号 :90 10 40 0 3，60 13 70 2 0 )，国家高技术研究发展计划 ( No.2 0 0 2 AA3 12 2 9Z)，国家重点基础研究发展规划 ( No.G2 0 0 0 0 3 660 3 )资助项目~~ |
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| 摘 要： | 利用 Ga As/Al Ga As分布反馈 Bragg反射镜在 Ga As衬底上制作了一个微机械的调谐滤波器 .该器件在 7V调谐电压下调谐范围达28nm
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| 关 键 词： | 微机械可调谐滤波器 波分复用 分布反馈Bragg反射镜 |
Micromechanical Tunable Optical Filter |
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| Zhang Ruikang,Yang Xiaohong,Zhou Zhen,Xu Yingqiang,Zhang Wei,Du Yun,Huang Yongqing,REN Xiaomin,Niu Zhichuan,Wu Ronghan. Micromechanical Tunable Optical Filter[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2003, 24(4): 347-350 |
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| Authors: | Zhang Ruikang Yang Xiaohong Zhou Zhen Xu Yingqiang Zhang Wei Du Yun Huang Yongqing REN Xiaomin Niu Zhichuan Wu Ronghan |
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| Abstract: | A micromachined vertical cavity tunable filter with AlGaAs/GaAs distributed Bragg reflector is presented.This filter can be electrostatic tuning over a range of 28nm with an applied voltage of 7V. |
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| Keywords: | micromachined tunable filter wavelength division multiplexing distributed Bragg reflector PACC:5200F 5200H 8160C |
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