亚微米级定位装置

目前压电微步进马达或压电转移器可以获得很高的定位精度。压电转移器把电能直接变换成机械运动,因此它在微定位应用中有着许多优点:1)效率高;2)无转动部件,无振动;3)无磨损部件,实际上使用寿命无限;4)速度快;5)体积小;6)分辨率高;7)对环境适应性强;8)最适合于闭路系统使用。但压电转移器也有一些缺点:当膨胀到最大距离的8～15％时,存在滞后特性;在不