| 改进溶胶-凝胶法制备PZT50/50铁电薄膜 |
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| 引用本文： | 王根水,于剑,赖珍荃,孟祥建,孙璟兰,郭少令,褚君浩,李刚,路庆华.改进溶胶-凝胶法制备PZT50/50铁电薄膜[J].功能材料,2002(1). |
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| 作者姓名： | 王根水 于剑 赖珍荃 孟祥建 孙璟兰 郭少令 褚君浩 李刚 路庆华 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室，中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室，中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室，中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室，中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点资助项目（69738020） |
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| 摘 要： | 采用改进的溶胶凝胶法在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ衬底上制备了ＰＺＴ５０／５０铁电薄膜，用Ｘ射线衍射表征了薄膜的物相，用原子力显微镜（ＡＦＭ）表征薄膜的微观形貌，用ＲＴ６６Ａ测量了薄膜的铁电特性，获得了具有优良的铁电性能的晶粒尺寸为１００ｎｍ的ＰＺＴ５０／５０铁电薄膜，在２０Ｖ电压下，Ｐｒ＝３１．８３μＣ／ｃｍ２。
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 前驱体 PZT50/50 铁电薄膜 |
PZT50/50 ferroelectric thin films derived by modified sol-gel process |
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| WANG Gen-shui,YU Jian,LAI Zhen-quan,MENG Xiang-jian,SUN Jing-lan,GUO Shao-ling,CHU Jun-hao,LI Gang,LU Qing-hua.PZT50/50 ferroelectric thin films derived by modified sol-gel process[J].Journal of Functional Materials,2002(1). |
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| Authors: | WANG Gen-shui YU Jian LAI Zhen-quan MENG Xiang-jian SUN Jing-lan GUO Shao-ling CHU Jun-hao LI Gang LU Qing-hua |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sol-gel process precursor PZT50/50 ferroelectric thin films |
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