智能化表面粗糙度检测仪

研究出一种智能化的表面粗糙度检测仪，其纵向分辨率为０．３ｎｍ，横向分辨率为１．２７μｍ，测试重复精度为０．５ｎｍ。该仪器不仅可以给出待测表面的二维截面图和三维形貌图，还能提供各种纵向、横向以及综合粗糙评定参数值。本文描述了它的测量原理及设计中的关键技术，并对测量结果作了误差评述。