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杂志ISSN号
异或门鉴霜在计量光栅检测中的应用
作者姓名:
杨进堂
作者单位:
中国科学院长春光学精密机械研究所
摘 要:
本比较了异或门鉴相与双稳定鉴相的差异,指出采用异或门鉴相原理在检测计量光栅刻划误差中的优势,介绍了在实际工作中得到验证的情况。
关 键 词:
计量光栅 误差 测量
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