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异或门鉴霜在计量光栅检测中的应用
作者姓名:杨进堂
作者单位:中国科学院长春光学精密机械研究所
摘    要:本比较了异或门鉴相与双稳定鉴相的差异,指出采用异或门鉴相原理在检测计量光栅刻划误差中的优势,介绍了在实际工作中得到验证的情况。

关 键 词:计量光栅 误差 测量
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