| PZT压电薄膜在MEMS中的应用 |
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| 引用本文： | 胡正军,王莉,徐东,蔡炳初. PZT压电薄膜在MEMS中的应用[J]. 微细加工技术, 2001, 0(4): 44-49 |
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| 作者姓名： | 胡正军 王莉 徐东 蔡炳初 |
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| 作者单位： | 上海交通大学信息存储研究中心, |
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| 摘 要： | 从MEMS应用的角度介绍了PZT压电薄膜的制备、集成工艺与压电系数的测量，并给出了压电薄膜在MEMS中的应用实例。
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| 关 键 词： | MEMS 压电薄膜 PZT 微机电系统 |
| 文章编号： | 1003-823(2001)04-0044-06 |
| 修稿时间： | 2001-03-22 |
Applications of PZT Piezoelectric Films in MEMS |
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| HU Zheng jun,WANG Li,XU Dong,CAI Bing chu. Applications of PZT Piezoelectric Films in MEMS[J]. Microfabrication Technology, 2001, 0(4): 44-49 |
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| Authors: | HU Zheng jun WANG Li XU Dong CAI Bing chu |
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| Abstract: | The preparation and integration of PZT films introduced for their applications in MEMS.The measurement of the piezoelectric coefficients of PZT films is analyzed.Their application examples in MEMS are presented. |
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| Keywords: | MEMS piezoelectric film PZT |
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