脉冲激光淀积法在Pt/TiO2/SiO2/Si(001)衬底上制备Pb(Ta0.05Zr0.45T … |
| |
引用本文: | 窦敖川,朱涛.脉冲激光淀积法在Pt/TiO2/SiO2/Si(001)衬底上制备Pb(Ta0.05Zr0.45T …[J].功能材料,1999,30(6):639-640. |
| |
作者姓名: | 窦敖川 朱涛 |
| |
作者单位: | [1]镇江师范大学专科学校物理系 [2]南京大学固体微结构物理固定重点实验室 |
| |
摘 要: | 用脉冲激光淀积方法在Pt/TiO2/SiO2/Si(001)衬底上制备了掺Ta的PZT薄膜,此薄膜显示了理想的铁电性。漏电流特性表明这种异质结构中Schottky场发射机制起主要作用。扫描电镜形貌照射表明PZT薄膜结晶很好并且异质结构界面无明显扩散。
|
关 键 词: | PTZT 薄膜 脉冲激光淀积 铁电性 漏电流 |
本文献已被 维普 等数据库收录! |
|