首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     

脉冲激光淀积法在Pt/TiO2/SiO2/Si(001)衬底上制备Pb(Ta0.05Zr0.45T …
引用本文:窦敖川,朱涛.脉冲激光淀积法在Pt/TiO2/SiO2/Si(001)衬底上制备Pb(Ta0.05Zr0.45T …[J].功能材料,1999,30(6):639-640.
作者姓名:窦敖川  朱涛
作者单位:[1]镇江师范大学专科学校物理系 [2]南京大学固体微结构物理固定重点实验室
摘    要:用脉冲激光淀积方法在Pt/TiO2/SiO2/Si(001)衬底上制备了掺Ta的PZT薄膜,此薄膜显示了理想的铁电性。漏电流特性表明这种异质结构中Schottky场发射机制起主要作用。扫描电镜形貌照射表明PZT薄膜结晶很好并且异质结构界面无明显扩散。

关 键 词:PTZT  薄膜  脉冲激光淀积  铁电性  漏电流
本文献已被 维普 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号