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杂质离子对铜沉积微观结构的影响
引用本文:鲁道荣,李学良,何建波,朱云贵. 杂质离子对铜沉积微观结构的影响[J]. 哈尔滨工业大学学报, 2003, 35(10): 1205-1208
作者姓名:鲁道荣  李学良  何建波  朱云贵
作者单位:合肥工业大学,化工学院,安徽,合肥,230009
基金项目:国家自然科学基金资助项目(29976009),安徽省自然科学基金资助项目(98625248).
摘    要:为揭示杂质离子在铜电结晶过程中的行为,提高电解铜的质量,模拟电解铜厂的生产条件,用XPS、XRD、SEM等仪器研究了电解液中As5+、Sb3+、Bi3+、Fe2+、Fe3+、Ni2+、Zn2+等杂质离子对铜沉积微观结构的影响.结果表明:当电流密度i≤220A/m2时,杂质离子不在阴极沉积,但抑制其他晶面的生长,使铜结晶的(220)晶面织构系数明显增大,晶胞尺寸变大,电结晶形态由脊状变为脊状混块状;当i>220A/m2时,杂质中砷离子与铋离子在阴极有少量沉积,沉积层中砷以As和As2O3形式并存,铋以Bi2O3形式存在,铜结晶的颗粒变粗;当电流密度增至800A/m2时,杂质离子会使铜结晶的晶面择优取向从(220)变为(111).

关 键 词:杂质离子 铜沉积 微观结构 电结晶 晶面取向 品胞尺寸 结晶形态
文章编号:0367-6234(2003)10-1205-04
修稿时间:2003-02-15

Effect of impurity ions on microstructure of copper deposition
Abstract:
Keywords:impurity ions  copper deposition  crystal orientation  cell size  crystal status
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