| 化学气相沉积法制备ZnS块材料的相结构 |
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| 引用本文： | 憨勇,吴慧卓. 化学气相沉积法制备ZnS块材料的相结构[J]. 材料工程, 1999, 0(2): 6-8 |
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| 作者姓名： | 憨勇 吴慧卓 |
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| 作者单位： | 西安交通大学 |
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| 摘 要： | 用化学气相沉积法制备了红外晶体ＺｎＳ块材料；分别用ＸＲＤ和ＴＥＭ分析了所沉积ＺｎＳ的相结构，并用ＩＲ测试了其红外透过率。结果表明：在沉积温度为５５０～７００℃，Ｈ２Ｓ／Ｚｎ摩尔流量比为０．５～２０的条件下所沉积ＺｎＳ的相结构主要为闪锌矿结构；随着沉积温度的升高和Ｈ２Ｓ／Ｚｎ摩尔流量比的增大，ＺｎＳ中有纤锌矿结构出现且其含量增多，导致了ＺｎＳ红外透过率的降低。
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| 关 键 词： | 化学气相沉积 ZnS块材料 相结构 |
| 修稿时间： | 1998-06-06 |
The Phase Structure of ZnS Bulk Materials Prepared by Chemical Vapor Deposition |
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| Han Yong,Wu Huizhuo. The Phase Structure of ZnS Bulk Materials Prepared by Chemical Vapor Deposition[J]. Journal of Materials Engineering, 1999, 0(2): 6-8 |
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| Authors: | Han Yong Wu Huizhuo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | chemical vapor deposition ZnS bulk materials phase |
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