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| 微波等离子体刻蚀脱碳预处理对金刚石涂层刀具附着力和切削性能 … | |
| 引用本文： | 夏琦,张志明.微波等离子体刻蚀脱碳预处理对金刚石涂层刀具附着力和切削性能 …[J].机械工程材料,2000,24(4):11-14. |
| 作者姓名： | 夏琦 张志明 |
| 作者单位： | 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室!上海200030(夏琦，张志明，沈荷生，孙方宏)，上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室!上海20(何贤昶) |
| 基金项目： | 国家高技术新材料领域基金!资助项目 (715 - 0 0 2 - 0 0 10 ) |
| 摘 要： | 用ＥＡＣＶＤ法在硬质合金（ＹＧ６）刀具上沉积金刚石涂层；用氢微波等离子体刻蚀的方法对基底进行表面预处理，以期提高金刚石涂层的附着力和涂层刀具的切削性能；附着力采用压痕法计算测定，切削性能通过对碳化硅增强铝基复合材料的切削试验测定；用Ｘ射线应力仪测试了涂层残余应力，并就不同预处理对性能的影响进行了分析和讨论。 |
| 关 键 词： | 微波等离子体刻蚀 附着力 切削性能 |
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