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半导体制片工艺的新动向
作者姓名:伊藤纠次  须华生
摘    要:制片工艺的地位看来,电子计算机与采用硅制造的单片集成电路有很大的依赖关系,这种状况暂时将继续下去。其理由比较简单,下面例举几条就足以说明:(1)在最近的将来几乎不可能出现胜过硅特性的半导体材料;(2)在电子计算机中所代表的信息处理机能只要能以电子电路的形式来实现,构成电路的器件排列只能是矩阵式的;(3)二维矩阵式的工艺技术对于人们来说很熟悉,是行之有效的好技术。

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