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| 光纤F-P干涉传感器进行精密表面粗糙度测量原理探讨 | |
| 引用本文： | 苏寒松,鲍振武.光纤F-P干涉传感器进行精密表面粗糙度测量原理探讨[J].仪器仪表学报,2001,22(Z2):37-38. |
| 作者姓名： | 苏寒松 鲍振武 |
| 作者单位： | 天津大学,天津,300072 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(598750657). |
| 摘 要： | 本文在双F-P腔光纤干涉仪测距原理和光纤探针粗糙度测量方法的基础上,提出了光纤F-P干涉传感器的高精度表面粗糙度测量原理.着重探讨了其测试方法. |
| 关 键 词： | 光纤传感器 粗糙度测量 |
The Discussion of a New Principle about Precision Surface Roughness Measurement by FFPI |
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