| 硅粉直接氮化反应合成氮化硅研究 |
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| 引用本文： | 李亚伟,张忻,田海兵,刘俊虎,李楠. 硅粉直接氮化反应合成氮化硅研究[J]. 硅酸盐通报, 2003, 22(1): 30-34 |
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| 作者姓名： | 李亚伟 张忻 田海兵 刘俊虎 李楠 |
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| 作者单位： | 武汉科技大学高温陶瓷与耐火材料湖北省重点实验室,武汉,430081 |
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| 基金项目： | 教育部科学技术研究重点资助项目 |
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| 摘 要： | 研究了硅粉直接氮化反应合成氮化硅粉末的工艺因素(包括硅粉粒度、氮化温度、成型压力、稀释剂含量等),借助XRD,SEM等测试手段测定和观察了氮化产物的物相组成和断口形貌.研究结果表明:硅粉在流动氮气氛下,高于1200℃氮化产物中氮含量明显增加;在氮化反应同时还伴随着硅粉的熔结过程,它阻碍硅粉的进一步氮化,其影响程度与氮化温度、氮化速度,素坯成型压力及硅粉粒度等工艺因素有关.在硅粉素坯中引入氮化硅作为稀释剂,提高了硅粉的氮化率,使产物中残留硅量降低;同样在实际生产中可以通过控制适当热处理制度(如分段保温、慢速升温),达到硅粉的完全氮化.在生产中批量合成了含氮量为32.5%,残留硅量为0.05%,主要为α相,含少量β相的针状、柱状的氮化硅.
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| 关 键 词： | 直接氮化 氮化硅 合成, |
Preparation of Silicon Nitride Powder by Direct Nitridation Process |
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| Li Yawei Zhang Xin Tian Haibing Liu Junhu Li Nan. Preparation of Silicon Nitride Powder by Direct Nitridation Process[J]. Bulletin of the Chinese Ceramic Society, 2003, 22(1): 30-34 |
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| Authors: | Li Yawei Zhang Xin Tian Haibing Liu Junhu Li Nan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | direct nitridation silicon nitride synthesis |
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