| 炉室上升式BS法单晶炉的设计 |
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| 引用本文： | 高利强,王建春,楚波.炉室上升式BS法单晶炉的设计[J].机械设计与制造,2005(6):4-5. |
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| 作者姓名： | 高利强 王建春 楚波 |
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| 作者单位： | 西安理工大学,西安,710048 |
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| 摘 要： | 这里介绍了炉室上升式BS法单晶炉的设计思路及工作原理，结合晶体生长的特殊工艺要求，分析了其主要结构及特点。
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| 关 键 词： | 单晶炉 结构 BS法 炉室上升 |
| 文章编号： | 1001-3997(2005)06-0004-02 |
| 修稿时间： | 2004年11月25 |
Design of the hearth ascending BS method single crystal growth furnace |
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| GAO Li-qiang,WANG Jian-chun,CHU Bo.Design of the hearth ascending BS method single crystal growth furnace[J].Machinery Design & Manufacture,2005(6):4-5. |
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| Authors: | GAO Li-qiang WANG Jian-chun CHU Bo |
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| Abstract: | The paper introduces the design ideas and principium of the hearth ascending BS method single crystal growth furnace according to the special technics of crystal' growing, interprets main structure and characteristic of the equipment. |
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| Keywords: | The single crystal growth furnace Structure BS method Herth ascending |
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