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| (LaxBi1-x)2Ti2O7薄膜X射线光电子能谱研究 | |
| 引用本文： | 张寅,王弘,杨雪娜,姚伟峰,尚淑霞,刘维民.(LaxBi1-x)2Ti2O7薄膜X射线光电子能谱研究[J].压电与声光,2005,27(1):50-52. |
| 作者姓名： | 张寅 王弘 杨雪娜 姚伟峰 尚淑霞 刘维民 |
| 作者单位： | 1. 山东大学,晶体所,国家重点实验室,山东,济南,250100;山东教育学院,数理系,山东,济南,250013 2. 山东大学,晶体所,国家重点实验室,山东,济南,250100 3. 中国科学院兰州化学物理研究所国家重点实验室,甘肃,兰州,730000 |
| 摘 要： | 采用化学溶液沉积(CSD)工艺在Si(100)衬底上制备了Bi2Ti2O7(BTO(和(LaxBi1-x)2Ti2O7(BLT(铁电薄膜，薄膜的X射线衍射(XRD)结果显示其具有较好的结晶性，运用X射线光电能谱仪(XPS)对薄膜的结构进行了研究，分析结果表明，薄膜中氧空位的出现影响了其相的稳定性，通过掺La可以改善其性能。 |
| 关 键 词： | 介电薄膜 化学溶液沉积（CSD） X射线光电能谱仪（XPS） |
| 文章编号： | 1004-2474(2005)01-0050-03 |
| 修稿时间： | 2003年4月22日 |
X-ray Photoelectron Spectroscopy Study of (LaxBi1-x)2Ti2O7 Thin Film |
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| ZHANG Yin,WANG Hong,YANG Xue-na,YAO Wei-feng,SHANG Shu-xia,LIU Wei-min.X-ray Photoelectron Spectroscopy Study of (LaxBi1-x)2Ti2O7 Thin Film[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2005,27(1):50-52. | |
| Authors: | ZHANG Yin WANG Hong YANG Xue-na YAO Wei-feng SHANG Shu-xia LIU Wei-min |
| Abstract: | (La_xBi_(1-x))_2Ti_2O_7(BLT)and Bi_2Ti_2O_7(BTO)films were prepared on Si(100) substrates by chemical solution deposition(CSD).The result of X-ray diffraction (XRD)patterns show the films with good orientation. X-ray photoelectron Spectroscopy (XPS) measurements were executed to compare the nature of defects in those films. It was found that phase stability of thin film is affected by oxygen vacancies after substituting Bi atoms with some La atoms the quality of BLT thin films is improved. |
| Keywords: | Bi_2Ti_2O_7 thin film CSD XPS |
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