| 白光干涉测量法中蝠翼效应的模拟分析 |
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| 引用本文： | 李萍,闫英,周平. 白光干涉测量法中蝠翼效应的模拟分析[J]. 中国测试, 2022, 0(1): 1-8 |
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| 作者姓名： | 李萍 闫英 周平 |
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| 作者单位： | 1.大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51975094,51875078,51991372);中央高校基本科研业务费(DUT20LAB108,DUT20ZD216)。 |
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| 摘 要： | 为探索白光干涉仪在测量矩形台阶时的蝠翼效应误差,建立白光干涉虚拟测量模型.在模型中,考虑白光光源带宽和干涉物镜数值孔径以及圆孔衍射模型的影响,分析蝠翼效应与真实台阶高度、光源中心波长之间的关系.模拟结果表明当台阶高度差是λ0/4的奇数倍时会出现蝠翼效应,且越接近λ0/4的奇数倍,蝠翼效应越显著.关于对蝠翼误差的补偿,分...
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| 关 键 词： | 白光干涉仪 蝠翼效应 衍射光学 光栅 |
Research of batwing effect in white-light interferometry |
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| LI Ping,YAN Ying,ZHOU Ping. Research of batwing effect in white-light interferometry[J]. CHINA MEASUREMENT & TESTING, 2022, 0(1): 1-8 |
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| Authors: | LI Ping YAN Ying ZHOU Ping |
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| Affiliation: | (Key Laboratory for Precision and Non-traditional Machining Technology of Ministry of Education,Dalian University of Technology,Dalian 116024,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | white-light interferometer batwing effect diffractive optic grating |
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