| 倏逝场照明的集成零模波导纳米孔芯片 |
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| 引用本文： | 俞鹏飞,付博文,李传宇,李超,周连群,郭振. 倏逝场照明的集成零模波导纳米孔芯片[J]. 光学精密工程, 2022, 30(1): 62-70. DOI: 10.37188/OPE.2021.0138 |
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| 作者姓名： | 俞鹏飞 付博文 李传宇 李超 周连群 郭振 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学,安徽合肥230026;中国科学院苏州生物医学工程技术研究所中国科学院生物医学检验技术重点实验室,江苏苏州215163;中国科学院苏州生物医学工程技术研究所中国科学院生物医学检验技术重点实验室,江苏苏州215163;复旦大学,上海200433;中国科学院苏州生物医学工程技术研究所中国科学院生物医学检验技术重点实验室,江苏苏州215163;苏州国科芯感医疗科技有限公司,江苏苏州215163;中国科学院苏州生物医学工程技术研究所中国科学院生物医学检验技术重点实验室,江苏苏州215163;季华实验室,广东佛山528200 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划资助项目(No.2018YFF01011003);国家自然科学基金青年基金资助项目(No.61874133,No.61901469,No.22005331);江苏省重点研究开发项目(No.BE2019684,No.BE2018080,No.BE2020768);江苏省政策引导类计划(No.BZ2019069);季华实验室资助项目(No.X190181TD190);中科院青年创新促进会资助项目(No.2019322,No.2018360,No.201856);中国科学院科研仪器设备研制项目(No.YJKYYQ20200046,No.YJKYYQ20190057);中国科学院重大科研仪器研制项目(No.ZDKYYQ20210004);苏州市科技支撑计划资助项目(No.SYG201907);中国科学院苏州生物医学工程技术研究所自主部署项目(No.Y851591105,No.E055011301)。 |
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| 摘 要： | 为了降低零模波导照明系统的成本、缩小尺寸,设计并完成衍射光栅、光波导以及零模波导的片上集成,并对集成化芯片的微纳结构及性能进行验证.采用时域有限差分法对集成化芯片进行了仿真设计,基于微纳加工手段制备出片上衍射光栅、光波导以及零模波导阵列结构,对微观结构进行表征,并借助荧光微球对芯片的性能进行验证.通过荧光微球测试,制备...
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| 关 键 词： | 集成光学 光波导 衍射光栅 零模波导阵列 |
Integrated zero-mode waveguide nanopore chip illuminated by evanescent field |
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| YU Pengfei,FU Bowen,LI Chuanyu,LI Chao,ZHOU Lianqun,GUO Zhen. Integrated zero-mode waveguide nanopore chip illuminated by evanescent field[J]. Optics and Precision Engineering, 2022, 30(1): 62-70. DOI: 10.37188/OPE.2021.0138 |
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| Authors: | YU Pengfei FU Bowen LI Chuanyu LI Chao ZHOU Lianqun GUO Zhen |
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| Affiliation: | (University of Science and Technology of China,Hefei 230026,China;Key Laboratory of Biomedical Detection Technology Suzhou Institute of Biomedical Engineering and Technology,Chinese Academy of Sciences,Suzhou 215163,China;Fudan University,Shanghai 200433,China;Suzhou CASENS Co.,Ltd,Suzhou 215263,China;Ji Hua Laboratory,Foshan 528200,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | integration optics optical waveguide diffraction grating zero-mode waveguide array |
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