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| sol-gel法制备NiZn铁氧体透明薄膜研究 | |
| 作者单位： | ;1.中国电子科技集团公司第三十三研究所;2.电磁防护材料及技术山西省重点实验室 |
| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法制备NiZn铁氧体薄膜,研究了溶胶配制、甩胶及退火工艺对NiZn铁氧体薄膜性能的影响,系统研究了制备工艺和退火工艺。结果表明,不同的膜厚,改变了样品内的残余应力;在退火工艺上,升温速率直接影响成核数量,退火温度和保温时间决定薄膜的结晶程度和附着力的大小。通过对溶胶-凝胶法制备NiZn铁氧体薄膜技术的研究及工艺优化,得到合理的退火处理工艺为:以2.5℃/min的升温速率升到700℃,保温40 min后随炉自然冷却到室温。同时研究了NiZn铁氧体薄膜的可见光透过和微波损耗特性。 |
| 关 键 词： | NiZn铁氧体薄膜 溶胶-凝胶法 退火处理 |
Study on NiZn ferrite transparence thin film prepared by sol-gel method |
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| Keywords: | |