氧化锌压电薄膜及其在超声显微镜中的应用 |
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引用本文: | 刘一声.氧化锌压电薄膜及其在超声显微镜中的应用[J].功能材料,1989(5). |
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作者姓名: | 刘一声 |
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作者单位: | 电子工业部第26研究所 |
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摘 要: | 氧化锌(ZnO)属于六角晶系6mm 点群,具有纤锌矿结构,是一种兼有半导性、压电性、光导电性、热电性和荧光性等多功能的电子材料,已用于制作多种电子器件。尤其是 ZnO 压电薄膜业已广泛应用于体声波微波延迟线、声表面波器件、各种传感器、超声显微镜以及声光器件等。本文主要叙述 ZnO 压电薄膜的成膜方法、主要性能及其在几种扫描超声显微镜中应用的近期进展。
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