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| 离子注入表面改性 | |
| 摘 要： | <正>离子注入属于物理气相沉积范围,是将所需物质的离子在电场中加速后高速轰击工件表面,并使之注入工件表面一定深度的真空处理工艺。离子注入将引起材料表层成分和结构发生变化,以及原子环境和电子组态等微观状态的扰动,因而导致了材料的各种物理、化学和力学性能的变化。离子注入表面改性特征如下:1)采用离子注入法可能获得不同于平衡结 |
| 关 键 词： | 表面改性 离子注入 微观状态 工件表面 电子组态 真空处理 物理气相沉积 力学性能 复合层 软化现象 |
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