| 薄膜互连线形状参数对电迁移的影响 |
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| 引用本文： | 黄飞,丁善婷,李婳婧.薄膜互连线形状参数对电迁移的影响[J].湖北工业大学学报,2015,30(2):28-30. |
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| 作者姓名： | 黄飞 丁善婷 李婳婧 |
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| 作者单位： | 湖北工业大学机械工程学院,湖北武汉,430068 |
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| 基金项目： | 湖北省教育厅重点项目，湖北省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 为了探究Au互连线的形状参数对互连线寿命的影响,在环境温度为150℃、加载电流为500mA的试验条件下,使用恒温箱同时对多种不同形状的样品进行加速寿命试验。结果表明:在此试验条件下,不同形状参数的互连线的失效模式相同,且皆为电迁移导致互连线出现断路;互连线与电极连接处的圆弧半径越大,电迁移导致的失效现象出现的越晚,对应的薄膜互连线的寿命也越长。
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| 关 键 词： | 薄膜互连线 加速寿命试验 电迁移 |
The Influence of Thin Film Interconnect Shape Parameters on the Electromigration |
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| HUANG Fei,DING Shanting,LI Huajing.The Influence of Thin Film Interconnect Shape Parameters on the Electromigration[J].Journal of Hubei University of Technology,2015,30(2):28-30. |
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| Authors: | HUANG Fei DING Shanting LI Huajing |
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| Affiliation: | HUANG Fei;DING Shanting;LI Huajing;School of Mechanical Engin.,Hubei Univ.of Tech.; |
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