Affiliation: | 1. NanoMEMS Research, LLC, , Irvine, CA, 92604;2. Institut für Hochfrequenztechnik und Elektronik, Karlsruher Institut für Technologie, , Karlsruhe, 76131 Germany;3. Chair for Wireless Communications, Christian‐Albrechts‐Universit?t zu Kiel, , Kiel, 24143 Germany |