超薄放射源和沉积膜厚度的测量比对

在SF-3型石英微量天平监测下制备的超薄放射源和沉积膜,分别采用称重法、电子谱线分析法和背散射法对其厚度进行了比对测量,测量结果一致性较好,并与SF-3型石英微量天平给出的值相符。从而在实验上证明了SF-3型石英微量天平是可靠的。它满意地解决了超薄源和沉积膜厚度的监控问题,现已推广应用,对核物理、核谱学等研究工作具有较大的作用。