薄膜热电偶的发展及其应用

重点介绍了采用阴极溅射法制取的铂－铂铑１０薄膜热电偶的最新高湿应用，包括制造工艺、高温绝缘以及试验和应用结果。同时还讨论了目前正在研制过程中的薄膜透明热电偶和耐蚀薄膜热电偶的有关问题。