平面电桥薄膜多层互连制造工艺研究

本文主要介绍了电桥的分类、设计及详细的薄膜多层互连制作工艺，并对运用薄膜多层互连工艺制作的电桥的性能进行了测试，最后对制作过程中出现的问题进行了探讨。