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| NIST新开展193nm激光功率计校准服务项目 | |
| 摘 要： | ＮＩＳＴ新开展一项计量服务 ,即对用氯化氩激发物激光产生的１９３ｎｍ的激光功率与能量计的校准。由于眼科手术和高分辨率的光刻技术的ＡｒＦ激发物激光的广泛应用 ,需要对这些激光产生的脉冲紫外辐射进行更好的测量和建立更准确的标准。而且现在计算机的微处理器和记忆芯片 ,其特性尺寸也只有利用此类激光光源产生的短波长辐射才能获得。ＮＩＳＴ制造了两台电校准的量热计作为特殊设计的基准进行校准测量。NIST新开展193nm激光功率计校准服务项目 |
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